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半導體行業迎來黃金十年,誰能幫國產晶圓廠搶占先機?

發布時間:2022-07-05發布人:

半導體行業迎來黃金十年,誰能幫國產晶圓廠搶占先機?




CIM系統被譽為晶圓廠生產制造的“中樞大腦”,集成了生產執行系統MES、設備管理系統EAP、統計過程控制SPC、先進過程控制APC、故障偵測及分類FDC、良率管理系統YMS系統等一系列關鍵系統,貫穿芯片生產的生產執行、生產運營和生產控制等關鍵環節,并對設備和工廠人員進行管控。行業發展至今,芯片生產工藝的復雜度已呈幾何級增長,流程也不斷延長,驅動著晶圓廠不斷追求先進制程的技術突破和革新,這也使得CIM系統必須持續升級迭代,方能滿足和支撐行業的快速成長。


依據目前的工藝制程,一片芯片的生產工序至少需要經歷數百道甚至數千道工藝和數百臺設備,每臺設備僅運轉24小時就能產生TB級的海量生產數據,這就需要生產制造系統必須能夠應對和處理海量復雜數據,并針對日趨嚴苛的晶圓制造需求提供生產控制與支持。因此,CIM系統首先需要具備高穩定性高并發處理能力,更重要的是,貫穿生產全過程的系統研發還需要具備豐富的半導體know-how。


“晶圓廠隨著工藝制程復雜度的提高,在生產管理,工藝控制的都面臨巨大的挑戰,這對CIM系統的智能化、系統功能的精細化程度提出了更高的要求,半導體CIM系統的價值更加凸顯。以格創東智為例,我們為半導體行業打造的新一代工業4.0智能工廠,通過智能軟件讓設備更智慧、讓工藝控制更精良,突破傳統自動化產線瓶頸,幫助成熟制程產線提高產能、降低生產時間,針對先進制程還可提升產品性能、優化生產和工藝設計等。”格創東智首席架構師、半導體軟件產品研發負責人肖長寶對半導體行業觀察表示。


“格創東智已獲工信部遴選認證為“2022年跨行業跨領域工業互聯網平臺”,作為我國源自半導體制造行業的雙跨行業平臺,格創東智不僅擅長于半導體等尖端制造業的工業軟件和系統研發,更是國內為數不多的提供全棧式工廠集成服務的行業頭部廠商,服務涵蓋從整廠及多廠數字化咨詢和方案設計、信息化落地實施交付及后續運維,并基于“生產-分析-預測”全新的視角構建半導體行業工廠生產系統,其自主研發的CIM具備行業領先的核心技術實力和賦能能力。


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不只拼軟件:整廠能力

CIM成功落地的基石

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對晶圓廠而言,具有至關重要作用的CIM能否成功落地,不僅取決于軟件自身的技術實力和成熟度,還需要CIM廠商具備豐富、全面的整體規劃設計與實施經驗。特別是在行業上下游生產合作日益緊密、新一代CIM甚至包含多達數十款復雜系統的今天,僅僅聚焦MES或幾個子系統單點需求,逐步增補、楔入其他系統甚至是外廠系統的“縫合怪”模式,正日益顯現出其商業套件功能重復度高、系統集成工作量大的核心缺陷。


因此,整廠能力——服務商是否具備技術領先、表現穩定的自研全棧式解決方案,并且熟知如何在整廠、多廠甚至是產業鏈上下游的貫通協作中,通過前瞻式規劃與精密實施,讓數十個功能各異又相互關聯的系統得以完美對接、整合,已成為下一個十年晶圓廠CIM成功落地的基石。


作為國內為數不多的自研產品在產業鏈上中下游均已落地的廠商,格創東智服務的半導體客戶已涵蓋半導體材料、晶圓制造、封裝測試及半導體設備,其智能工廠全流程全棧產品和解決方案覆蓋生產運營、品質良率改善、設備健康、能耗管理等多個領域,并通過利用新技術重構傳統軟件的技術架構,更好地支撐高并發、低時延、精確穩定的業務場景,在集成大量復雜、非原生系統方面表現優異。


以其在國內某8寸廠實施的整廠CIM項目為例,格創東智幫助客戶實現了從硅片、晶圓生產、封裝測試、到成品組裝,多工廠、多車間的生產管理、質量控制和工藝優化,是國內率先真正落地前中后道的全棧CIM案例。而通過完成多業務、多流程、多系統的數據拉通,客戶得以實現從原材料拉晶到成品組裝的全流程追溯管理,極大地優化了多個工廠的管理效率,MES與EAP協同已達領先水平。


全棧產品與整廠能力的背后,是格創東智700多人并不斷壯大的半導體專業團隊。其中,肖長寶、徐磊、黃圣翔等一批核心技術專家曾服務于英特爾、IBM、應用材料、臺積電和士蘭微等國內外半導體頭部企業,平均行業經驗超過15年,在6/8/12寸晶圓廠建廠和CIM、MES、EAP、APC、FDC等系統建設方面均擁有豐富經驗,具備強大的研發、交付能力與規模化能力。


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誰能跑贏下一個十年?

創新技術應用成破局關鍵

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隨著越來越多的晶圓廠將CIM視為跑贏下一個十年的重要賽道,如何在這場比拼中充分挖掘、發揮CIM的更大價值就成了必須回答的問題。盡管業內普遍認為,支撐晶圓廠各環節生產是CIM系統的“基本盤”,但也有部分頭部廠商提出了更具前瞻性的看法。


“在實現自動化、信息化后,對晶圓廠更具價值的,則是充分調用制造中源源不斷地產生的數據資源,通過大數據分析和智能預測,實現全自動化控制,真正實現無人智能工廠。面對全球疫情反復和日益嚴峻的產業鏈安全挑戰,這對于自動化程度高、產能擴張挑戰與日俱增的12寸廠愈加重要。”格創東智半導體專家黃圣翔表示。他曾任職臺積電等行業頭部企業,主導過大量半導體MES、EAP、APC、ERP等建設工作,深知數據價值對于晶圓廠特別是12寸廠的重要意義。


以晶圓、封測廠除產能外最為關注的核心指標良率與品質為例,其與工廠效益和利潤率息息相關,而隨著產能的攀升和工藝的優化,對生產良率的影響因素越來越多、各影響因素之間的復雜性也不斷提升,且存在大量隱藏影響因素,難以通過傳統的經驗進行識別判定。良率與品質問題,已成為阻礙半導體企業實現高速成長的主要“攔路虎”。例如,晶圓生產中的關鍵制程CMP(化學機械拋光)工藝復雜程度高,對材料去除的均勻性、高生產效率和低成本有嚴苛要求,依賴人工在站點對膜厚進行抽查,同一批次、不同批次膜厚異常分析難以開展,不僅檢測的效率和準確率亟待提升,且難以及時發現導致缺陷異常的因素。


而通過技術創新,格創東智在品質方面推出了組合豐富且完整的多樣化產品,涵蓋良率管理系統YMS、單因子監控系統SPC、多因子分析系統MFA、視覺檢測系統ADC和大數據分析中臺等。這些產品組合背后的原理是,通過采集、處理、分析海量的結構化和非結構化數據源,進行識別與監控、智能分析,充分挖掘出潛藏在生產過程中的多個影響因素,及時實現品質預警、品質追溯、良率預警,以大數據分析結果倒逼制程優化,避免不必要的品質損失。


針對前文提到的CMP檢測難點,格創東智通過搭建大數據平臺,充分運用設備端和制程相關的數據參數,建立CMP膜厚異常、缺陷根因的多因子分析模型,將海量影響因素和關聯關系納入考量,挖掘出工程師過去無法識別的相關影響因素;在提升發現異常的時效性方面,則利用虛擬量測(VM),建立模型高精度預測膜厚值并對異常值實時攔截,實現特征值“實時全檢”,降低站點抽檢頻率60%,充分發揮了數據的價值,有效降低了成本。


結語

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在半導體產業沉沉浮浮的數十年里,一直存在著重硬輕軟的現象,這也是制約我國晶圓廠搶占中高端市場的重要因素之一。而隨著近年來始料未及的缺芯潮,以及隨之而來的建廠潮,越來越多的晶圓廠已開始意識到芯片生產制造相關軟件的重要性,“以柔克剛”解決生產中的難點痛點。


因此,我們也期待著未來有更多像格創東智這樣的國產軟件廠商,能夠具備豐富的整廠能力和創新的技術優勢,協同更多硬件廠商、制造工廠為中國半導體迎接黃金十年保駕護航。



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