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1. 工作原理

?全自動Slug腐蝕機通過高技術的BOE腐蝕機，?利用注入的陽離子與光刻膠中的碳形成強化學鍵，?使光刻膠表面高度交聯，?形成一層高度致密、?耐腐蝕的碳化硬殼，?從而大大增加光刻膠的去除效率。

2. 工作流程

?生產線包括上料臺、?MAE酸槽、?QDR槽等多個制程工位，?通過全自動控制系統，?操作者只需將清洗花籃放置于上料工位上，?由PLC控制的機械手將花籃輸送到各個工位，?按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。?這種全自動化的操作不僅提高了工作效率，?還保證了處理的質量和一致性。?

3. 清洗能力

8（12）inch   1 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

4. 產品優勢

1) 自動化程度高：?全自動Slug腐蝕機采用人機界面（?觸摸屏）?加PLC控制，?操作者只需將清洗花籃放置于上料工位上，?然后由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，?按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。?這種全自動化的操作大大減少了人工干預，?提高了生產效率。?

2) 操作簡便：?設備的用戶界面非常簡單，?方便用戶進行程序設定和操作。?這降低了操作難度，?即使是沒有專業背景的操作人員也能快速上手，?減少了培訓成本和時間。?

3) 生產效率高：?通過高壓噴淋及被蝕刻板直線運動形成連續不間斷進料狀態，?加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度，?無論在蝕刻效果、?速度和改善操作者的環境及方便程度，?都優于潑濺式蝕刻。?這種設計顯著提高了生產效率。?

4) 生產環境改善：?設備電器控制部分關鍵件均采用進口件，?性能可靠，?使用壽命長。?背部設有吸風口，?為防止污染空氣，?用戶需外接風管抽風。?這樣的設計不僅提高了工作環境的安全性，?還有效地減少了環境污染。?

5) 可靠的性能：?易腐蝕部件均有罩子保護，防止藥液腐蝕。?具有完備的自診斷功能，?包括預警信息、?日常維護提醒和自動安全關機等，?確保了設備的穩定運行和用戶的安全。?

5. 產品特點

1) 工藝說明: 自動傳動，自動方式實現槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業，生產部人員選取菜單進行作業，這個過程全自動進行；

2) 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；

3) 搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結構及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩；

4) 搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；

5) 溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

6) 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；

7) 整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；

8) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超(兆)聲低液位保護；

9) 整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；

10) 整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

11) 機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設備兩端各一個），并按照標準設置接地保護斷路器；

12) 整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，處設有漏液報警，前后區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；

13) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；

14) 設計合理化的排風管路，使酸堿液揮發氣體的污染最小化；

15) 設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；

16) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；

17) 搬運機械手抓驅動部分為電機馬達驅動完成動作并配有傳感器實時監測,抓取部位設有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；

18) 搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置（光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等），以保護操作人員安全；

19)  設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；

20) 機臺上料下料區各配水***2把；

21) 機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；

22) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；

23) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

6. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調試經驗、業務精湛的技術人員在用戶工廠現場安裝、調試設備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急處理程序。

3) 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續提供終身技術服務。在質保期內，提供7*24小時內電話支持服務，24小時到現場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內到達現場。

4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。