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單片濕法制程設備

刷片機

全自動刷片機主要用于6、8英寸襯底片及外延片的過程清洗,去除晶圓上殘留的物理顆粒。設備主要由(浸泡)上料臺模塊、對中翻轉模塊、刷洗工藝腔體、下料臺模塊、可橫向移動雙臂機械手模塊、供排液系統、排風系統、中央控制系統等組成。刷洗工藝腔體具備Brush刷洗、高壓二流體清洗、氮氣吹干、離心甩干等功能。減少人為因素對清洗過程的干擾,保證片間均勻性,滿足晶圓表面顆粒度目標要求。


產品詳情

特點&優點 

u  設備可實現6、8英寸晶圓兼容

u  設備能實現晶圓正反面的自動翻轉與清洗;

u  設備可選擇配置有濕進干出或者干進干出;

u  每個腔室采用獨立空間,避免交叉污染;

u  腔室流場控制技術,保證廢氣及時排出;

u  專利刷頭設計,有效避免晶圓劃痕的產生;

u  刷頭潤濕及自清潔技術,避免引入顆粒;

u  設備集成4套、6套刷洗腔體,產能最高可達80片/小時;

u  SiC片表面顆粒去除能力可達到particle(@0.3um)≤5ea;

u  多級軟硬件安全互鎖,操作安全

u  軟件及硬件模塊化設計

u  實時記錄生產數據,多種數據分析功能

u  工藝柔性化設計,工藝更改方便迅速

u  設備占地面積小

u  支持擴展SMIF自動傳輸

u  軟件支持SECS GEM接口,支持EAP  MES等功能(選配)

u  多路視頻監控和錄像功能(選配)

u  靜電消除功能(選配)

u  優化配管設置,節約DIW消耗量

u  多工藝數據庫,可供用戶使用和存儲

u  自主知識產權的軟件系統

u  擁有多項軟件著作權

u  PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面

u  系統自動排程,多工位并發處理,高效率運行

u  工藝預置,過程數據記錄和生產管理

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