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全自動單片去膠清洗機主要用于6、8英寸晶圓上光刻膠去除或金屬膜剝離。

設備主要由浸泡腔、去膠（剝離）腔體、清洗干燥腔體、升降掃描擺臂模塊、上下料臺模塊、對中模塊、高壓液體供應系統、常壓供排液系統、空氣凈化及靜電消除系統、安全消防系統、中央控制系統等組成。

產品優勢：

1. 兼容多種規格尺寸的晶圓

2. 可控高壓剝離技術 

3. 采用干進干出加工模式

4. 化學液循環再利用

5. 貴金屬收集回收