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新年芯聞|中電科二所取得碳化硅激光剝離設備國產化突破性進展;日本試制出SiC+GaN合體功率半導體

發布時間:2022-02-09發布人:

新年芯聞|中電科二所取得碳化硅激光剝離設備國產化突破性進展;日本試制出SiC+GaN合體功率半導體

原創 微安 碳化硅芯觀察 2022-02-07 12:16


【中電科二所取得碳化硅激光剝離設備國產化突破性進展】

激光垂直改質剝離設備被譽為“第三代半導體中的光刻機”。其創新性地利用光學非線性效應,使激光穿透晶體,在晶體內部發生一系列物理化學反應,最終實現晶片的剝離。這種激光剝離幾乎能避免常規的多線切割技術導致的材料損耗,從而在等量原料的情況下提升SiC襯底產量。此外,激光剝離技術還可應用于器件晶圓的減薄過程,實現被剝離晶片的二次利用。

據介紹,SiC半導體材料具有高熱導率、高擊穿場強、高飽和電子漂移速率、化學性能穩定等優點,對電動汽車、高壓輸變電、軌道交通、通訊基站、衛星通訊、國防軍工等領域的發展有重要意義。但是,因SiC材料硬度與金剛石相近,現有的加工工藝切割速度慢、晶體與切割線損耗大,成本較高,導致材料價格高昂,限制了SiC半導體器件的廣泛應用。

幾年前,該項目作為第三代半導體技術創新的重點項目重點攻關,聚焦第三代半導體關鍵核心技術和重大應用方向,中電科二所以解決SiC襯底加工效率這一產業突出難題為目標,將SiC激光剝離設備列為重點研發裝備,借此實現激光剝離設備國產化,力爭使其具備第三代半導體核心裝備研發、產業化和整線裝備解決方案的能力。

近日中電科二所傳來好消息,在SiC激光剝離設備研制方面,取得了突破性進展。“目前,科研團隊已掌握激光剝離技術原理與工藝基礎,并利用自主搭建的實驗測試平臺,結合特殊光學設計、光束整形、多因素耦合剝離等核心技術,實現了小尺寸SiC(碳化硅)單晶片的激光剝離。”

該項目的正式啟動體現了中電科二所在SiC半導體材料、激光精密加工、光學系統設計搭建、半導體制造設備研制等方面的科研實力。

目前,這一研發項目已通過專家論證,正式立項啟動,下一步將依托國家第三代半導體技術創新中心,匯聚科研優勢力量,聚焦激光剝離技術的實用化與工程化,積極推進工藝與設備的協同創新,研發快速生產化、全自動化、低能耗化的激光剝離設備。


【日本試制出碳化硅和氮化鎵合體的功率半導體】


近日,日本產業技術綜合研究所(簡稱產綜研)成功試制了把受到關注的新一代功率半導體材料碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)合為一體的半導體。要實現電子產品和純電動汽車(EV)的節能化,用于電力轉換的功率半導體是必不可少的。通過結合兩種特性不同的材料,兼顧較高的轉換效率和可靠性。


碳化硅和氮化鎵用于功率半導體的基板。與采用硅的通常的功率半導體相比,電力的轉換效率更高。碳化硅的可靠性更為卓越,應用于鐵路車輛和純電動汽車,而氮化鎵的運行效率高,應用于智能手機的快速充電器。例如,美國特斯拉的部分主力純電動汽車的逆變器上應用了碳化硅半導體。


產綜研在碳化硅基板上制造二極管和氮化鎵的晶體管,開發出了兼具兩方面優點的半導體。在位于茨城縣筑波市的研究基地“TIA”,成功進行了采用直徑100毫米基板的功率半導體的試制和試運行。


該半導體支持的電流在試制階段約為20毫安,今后將為了實用化而開發支持10安培以上電流的功率半導體。未來力爭應用于小型純電動汽車搭載的逆變器、以及光伏太陽能發電設備的電源調節器(電力轉換裝置)。


圍繞新一代功率半導體,旨在引進氧化鎵和鉆石等其他新材料的研究開發也在推進。不過,這些材料的全面普及被認為需要較長時間。產綜研的先進功率電子研究中心功率器件團隊的研發負責人原田信介表示,“通過(現有的碳化硅和氮化鎵的)組合,能使技術無縫銜接”。

文章轉載自:太原網、日經媒體      

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