8月19日,總投資30億元的光罩材料產業鏈項目在浙江嘉興科技城(南湖高新區)智立方舉行了簽約儀式。項目實施主體為嘉興立恩半導體科技有限公司,項目負責人是張汝京博士。
據悉,該項目首期投資11億元,落戶于南湖高新區集成電路產業園,主要從事光罩材料產業鏈相關產品的研發制造,產品包括高平整度石英基板、鍍膜基板(含二元及相位移的)、保護膜等原材料。項目計劃于今年9月啟動,2023年4月第一條生產線試生產,2024年1月正式投產,2026年1月達產。
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