近日,賽微電子控股子公司賽萊克斯微系統科技(北京)有限公司完成了“8英寸MEMS國際代工線”(北京FAB3)二期產能潔凈室的整體建設,截至目前已搬入部分設備進行安裝調試,計劃在今年底之前實現通線生產。
潔凈室(Clean Room)是指空氣懸浮粒子濃度受控的空間,同時將室內的潔凈度、溫度、濕度、正壓、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在滿足工藝需求范圍內,潔凈室的作用是確保產品(芯片晶圓)能在一個良好環境空間中進行生產、制造,測試、包裝。北京FAB3二期潔凈室總建設規模10,730.54平米,主要潔凈分區為 10級潔凈區(Litho光刻區)、100級潔凈區(Dry Ethch等非光刻區)、1000級潔凈區(封測包裝及實驗區)。
截至目前,賽萊克斯北京8英寸MEMS國際代工線北京一期產能(1萬片/月)正常使用中,二期產能(2萬片/月)的建設也正在進行中。自通線以來,公司北京FAB3的工藝開發能力及生產工藝水平逐步得到國內外客戶的認可,正在積極開拓市場并持續推進產能爬坡,努力提升產能利用率。
賽微電子是全球領先、國際化運營的高端集成電路晶圓代工生產商,也是國內擁有自主知識產權和掌握核心半導體制造技術的特色工藝專業晶圓制造商。公司在國內外擁有多座中試平臺及量產工廠,業務遍及全球,服務客戶包括國際知名的DNA/RNA測序儀、光刻機、元宇宙、計算機網絡及系統、硅光子、紅外、可穿戴設備、新型醫療設備、汽車電子等巨頭廠商以及細分行業的領先企業。
賽萊克斯北京是由賽微電子全資子公司北京賽萊克斯國際科技有限公司與國家集成電路產業投資基金股份有限公司共同投資的8英寸MEMS國際代工線項目公司,主要從事MEMS的生產代工業務。在原定瑞典FAB1&2輸入技術模式被迫中止的背景下,北京FAB3繼續加大研發投入,自主積累基礎工藝,積極探索各類MEMS器件的生產訣竅,努力為通信、生物醫療、工業汽車、消費電子等各領域客戶,尤其是中國本土客戶提供優質的MEMS工藝開發及晶圓制造服務,積極推動公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產制造能力,加速國產替代。
賽微電子歡迎與全球尤其是中國本土各領域MEMS設計廠商開展廣泛合作,為中國MEMS產業生態的進一步發展貢獻一份自己的力量。
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