天芯微半導體首臺先進制程硅基外延設備在無錫高新區首發

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“無錫高新區在線”消息 8月8日上午，天芯微半導體首臺先進制程硅基外延設備首發儀式在無錫高新區舉行。

天芯微此次發布的Epi 300 Compass AP硅基外延減壓設備是半導體前道工藝中的關鍵設備，廣泛應用于功率器件、28nm及以下先進制程的邏輯、存儲器件的生產制造。Epi 300 Compass AP的各項性能均達到了國際先進水平，部分核心性能已經超過國際同類產品，并得到了客戶的肯定。

江蘇天芯微半導體設備有限公司是先導集團旗下的一家集成電路高端裝備制造商，公司核心團隊來自全球領先的半導體設備公司，擁有25年的先進半導體裝備研發、制造經驗。公司以硅基外延技術為核心，致力于半導體前道關鍵工藝設備的研發與制造，為集成電路行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。

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