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中國(guó)電科45所濕法設(shè)備進(jìn)入國(guó)內(nèi)主流8英寸芯片產(chǎn)線

發(fā)布時(shí)間:2022-07-25發(fā)布人:

中國(guó)電科45所濕法設(shè)備進(jìn)入國(guó)內(nèi)主流8英寸芯片產(chǎn)線




中國(guó)電科45所(以下簡(jiǎn)稱(chēng)45所)研制的雙8英寸全線自動(dòng)化濕法整線設(shè)備進(jìn)入國(guó)內(nèi)主流FAB廠。該整線設(shè)備滿(mǎn)足8英寸90nm~130nm工藝節(jié)點(diǎn),適用于8~12英寸BCD芯片工藝中的濕化學(xué)制程。

晶圓尺寸與工藝線寬代表濕法設(shè)備的工藝水準(zhǔn),45所研制的整線設(shè)備具備了8寸主流FAB廠濕法設(shè)備運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn),自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)集成度高,覆蓋了8英寸BCD芯片工藝中的濕化學(xué)工藝制程,實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)濕法去膠、濕法腐蝕、濕法金屬刻蝕、RCA清洗、Marangoni干燥等工藝。

設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石,據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì),2021年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷(xiāo)售額創(chuàng)歷史新高,達(dá)到1026億美元,同比增長(zhǎng)了44%。在全球芯片擴(kuò)產(chǎn)潮的推動(dòng)下,晶圓廠的設(shè)備支出將繼續(xù)提升,預(yù)計(jì)全球市場(chǎng)2022年將達(dá)到1175億美元,2023年將增至1208億美元。

旺盛的市場(chǎng)需求,為本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)帶來(lái)了發(fā)展契機(jī)。中電科電子裝備集團(tuán)有限公司董事長(zhǎng)、黨委書(shū)記景璀表示,基于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)“技術(shù)密集、人才密集、資金密集,回報(bào)周期長(zhǎng)”的特點(diǎn),國(guó)內(nèi)先進(jìn)的設(shè)備企業(yè)已經(jīng)形成“研發(fā)先行,產(chǎn)業(yè)跟進(jìn),金融支撐”的發(fā)展模式,并具備以下三個(gè)特點(diǎn):

一是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)集中度高。據(jù)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì),國(guó)內(nèi)前十家半導(dǎo)體設(shè)備公司銷(xiāo)售收入占國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)銷(xiāo)售收入總額的80%。設(shè)備龍頭企業(yè)與制造領(lǐng)軍企業(yè)在工藝與設(shè)備開(kāi)發(fā)方面深度合作,不斷強(qiáng)化龍頭企業(yè)地位。二是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分品種不斷豐富,逐步步入產(chǎn)業(yè)化替代階段。例如,北京爍科中科信公司目前已實(shí)現(xiàn)中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等特種應(yīng)用全系列離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展,工藝段覆蓋至28nm。三是資本市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化的支撐力度日益增強(qiáng)。2019年以來(lái),多家企業(yè)借助科創(chuàng)板迅速實(shí)現(xiàn)IPO上市,募集資金,加速科研投入,產(chǎn)業(yè)化進(jìn)一步提速。



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