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這家SiC企業(yè)也擴產(chǎn)!6英寸、6萬片

發(fā)布時間:2021-08-16發(fā)布人:

這家SiC企業(yè)也擴產(chǎn)!6英寸、6萬片
來源  第三代半導(dǎo)體風向

       昨天,“三代半風向”獲得一份招標書,其中顯示,河北將建一個6英寸碳化硅外延片生產(chǎn)基地,投資額約1.8億元,年產(chǎn)能6萬片。

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       碳化硅外延擴建年產(chǎn)能6萬片


       8月12日,河北普興電子科技股份有限公司公布了“搬遷項目監(jiān)理公開招標公告”,招標金額210萬元。

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       公告提到,該項目將建設(shè)“6英寸碳化硅外延以及8英寸硅外延生產(chǎn)基地”,總建筑面積約為63915.23㎡,投資總額1.8億元,項目已由河北石家莊鹿泉經(jīng)開區(qū)批準建設(shè)。


       另一份招標信息顯示,普興電子計劃對現(xiàn)有碳化硅外延生產(chǎn)線進行升級改造,建設(shè)一條6英寸碳化硅外延片批量生產(chǎn)線,實現(xiàn)年產(chǎn)6英寸碳化硅外延片6萬片的生產(chǎn)能力,將采購主要生產(chǎn)設(shè)備碳化硅外延爐15臺及配套測試儀器等。


       據(jù)介紹,普興電子是中國電子科技集團第13研究所的控股公司,從1963年開始進行半導(dǎo)體硅基外延材料的技術(shù)研究,年產(chǎn)各種硅基外延片600多萬片,是國內(nèi)最大的硅基外延材料供應(yīng)商。

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       在碳化硅方面,據(jù)介紹,2018年普興電子就搭建了碳化硅外延生產(chǎn)和測試平臺,2019年率先在河北省實現(xiàn)6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化,2020年開發(fā)了快速碳化硅外延生長工藝,單臺設(shè)備產(chǎn)能提高20%以上。


       備案信息顯示,2020年普興電子就在著手加快碳化硅外延產(chǎn)業(yè)化。

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       此前,普興電子還打算介入碳化硅單晶生長領(lǐng)域,計劃發(fā)展成為從碳化硅單晶生長、碳化硅外延片直至芯片加工的全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)企業(yè),例如2017年5月23日,普興電子的“碳化硅單晶產(chǎn)業(yè)化項目”備案獲得批復(fù)。


        不過,據(jù)“三代半風向”了解,出于資源優(yōu)化考慮,中電科集團對普興的碳化硅單晶項目進行了調(diào)整,讓普興電子專注碳化硅外延,而碳化硅單晶和碳化硅芯片將由集團其他子公司專門負責。
 

       中電科的全產(chǎn)業(yè)鏈布局


       據(jù)“三代半風向”調(diào)研了解,中電科集團已經(jīng)完成了碳化硅的全產(chǎn)業(yè)鏈布局,其相關(guān)子公司已經(jīng)在設(shè)備、襯底、外延、器件等環(huán)節(jié)建樹頗多。


        碳化硅襯底方面,他們主要依托于山西爍科晶體。

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       據(jù)介紹,2018年,中電科就在山西簽約布局碳化硅項目;2019年4月,中國電科(山西)碳化硅產(chǎn)業(yè)基地一期項目于開工建設(shè),實施主體就是爍科晶體。2020年2月底,一期項目正式投產(chǎn),300臺設(shè)備同時啟動,月產(chǎn)1200塊碳化硅單晶。

據(jù)《山西日報》4月15日報道,2020年,山西爍科晶體碳化硅襯底年產(chǎn)能已達10萬片,銷售3萬片以上。


       中電科集團還有多個子公司涉及碳化硅器件領(lǐng)域,其中包括中電科13所。


        2018年6月13日,中電科13所的“碳化硅電力電子器件芯片產(chǎn)業(yè)化項目”獲得了石家莊高新區(qū)備案批復(fù)。


       而碳化硅封裝則是同輝電子負責。據(jù)介紹,同輝電子成立于2007年,與普興電子同屬于中電科13所控股企業(yè)。


       2020年,同輝電子的“碳化硅封裝線”項目已經(jīng)竣工投產(chǎn)。在此之前,同輝電子還有多個碳化硅項目備案:

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