上海“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領域擬立項項目公示，涉及存儲器、光刻膠等
發(fā)布時間：2022-09-07發(fā)布人：
上海“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領域擬立項項目公示，涉及存儲器、光刻膠等
9月5日，上海市科學技術委員會公示上海市2022年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領域擬立項項目，公示期為9月5日至9月9日。
擬立項項目共9個，包括“并行探針陣列電子束光刻關鍵技術研究”，項目承擔單位為百及納米科技（上海）有限公司；
“面向化合物半導體生產工藝的分子束外延裝備及核心部件研制”，項目承擔單位為費勉儀器科技（上海）有限公司；
“新型柔性存儲器及存算一體技術研究”，項目承擔單位為復旦大學；
“基于有機無機雜化金屬氧化物的EUV光刻膠干法制備關鍵技術研究”，項目承擔單位為華東理工大學；
“ForkSheet場效應晶體管關鍵技術研究”，項目承擔單位為上海集成電路研發(fā)中心有限公司；
“面向B5G/6G毫米波應用的低功耗高帶寬多芯片集成技術研究”，項目承擔單位為上海交通大學；
“芯片先進封裝用高導熱石墨烯強化界面散熱材料研發(fā)”項目承擔單位為上海瑞烯新材料科技有限公司；
“集成電路工藝檢測設備用超寬光譜光源”，項目承擔單位為上海神光激光技術制造裝備研發(fā)有限公司；
“基于先進CMOS工藝的新型SOI晶體管關鍵技術研究”，項目承擔單位為中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所。
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