賽微電子：北京8英寸MEMS代工線二期潔凈室竣工，計劃年底前通線生產(chǎn)

近日，賽微電子控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司完成了“8英寸MEMS國際代工線”（北京FAB3）二期產(chǎn)能潔凈室的整體建設(shè)，截至目前已搬入部分設(shè)備進行安裝調(diào)試，計劃在今年底之前實現(xiàn)通線生產(chǎn)。

潔凈室（Clean Room）是指空氣懸浮粒子濃度受控的空間，同時將室內(nèi)的潔凈度、溫度、濕度、正壓、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在滿足工藝需求范圍內(nèi)，潔凈室的作用是確保產(chǎn)品（芯片晶圓）能在一個良好環(huán)境空間中進行生產(chǎn)、制造，測試、包裝。北京FAB3二期潔凈室總建設(shè)規(guī)模10,730.54平米，主要潔凈分區(qū)為 10級潔凈區(qū)（Litho光刻區(qū)）、100級潔凈區(qū)（Dry Ethch等非光刻區(qū)）、1000級潔凈區(qū)（封測包裝及實驗區(qū)）。

截至目前，賽萊克斯北京8英寸MEMS國際代工線北京一期產(chǎn)能（1萬片/月）正常使用中，二期產(chǎn)能（2萬片/月）的建設(shè)也正在進行中。自通線以來，公司北京FAB3的工藝開發(fā)能力及生產(chǎn)工藝水平逐步得到國內(nèi)外客戶的認可，正在積極開拓市場并持續(xù)推進產(chǎn)能爬坡，努力提升產(chǎn)能利用率。

賽微電子是全球領(lǐng)先、國際化運營的高端集成電路晶圓代工生產(chǎn)商，也是國內(nèi)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和掌握核心半導(dǎo)體制造技術(shù)的特色工藝專業(yè)晶圓制造商。公司在國內(nèi)外擁有多座中試平臺及量產(chǎn)工廠，業(yè)務(wù)遍及全球，服務(wù)客戶包括國際知名的DNA/RNA測序儀、光刻機、元宇宙、計算機網(wǎng)絡(luò)及系統(tǒng)、硅光子、紅外、可穿戴設(shè)備、新型醫(yī)療設(shè)備、汽車電子等巨頭廠商以及細分行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)。

賽萊克斯北京是由賽微電子全資子公司北京賽萊克斯國際科技有限公司與國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司共同投資的8英寸MEMS國際代工線項目公司，主要從事MEMS的生產(chǎn)代工業(yè)務(wù)。在原定瑞典FAB1&2輸入技術(shù)模式被迫中止的背景下，北京FAB3繼續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎(chǔ)工藝，積極探索各類MEMS器件的生產(chǎn)訣竅，努力為通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等各領(lǐng)域客戶，尤其是中國本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造服務(wù)，積極推動公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力，加速國產(chǎn)替代。

賽微電子歡迎與全球尤其是中國本土各領(lǐng)域MEMS設(shè)計廠商開展廣泛合作，為中國MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)的進一步發(fā)展貢獻一份自己的力量。

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