默克宣布將與美光合作開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)氣體解決方案

《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》8日訊，默克公司宣布與美光科技合作開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體工藝、能降低全球變暖趨勢(shì)的氣體解決方案。默克表示，經(jīng)過(guò)一年的持續(xù)合作，美光科技目前正在測(cè)試默克研發(fā)部門(mén)提供的低GWP替代性蝕刻氣體，以驗(yàn)證其制程性能，從而取代傳統(tǒng)的高GWP材料，目標(biāo)在半導(dǎo)體制程中導(dǎo)入全新且更具可持續(xù)性的氣體解決方案。

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