萬業企業旗下多款刻蝕設備成功中標上海積塔特色工藝項目
發布時間：2022-08-08發布人：
萬業企業旗下多款刻蝕設備成功中標上海積塔特色工藝項目
8月2日，據中國國際招標網顯示，萬業企業旗下嘉芯閎揚公司和嘉芯迦能公司成功中標上海積塔半導體有限公司特色工藝生產線建設項目10臺刻蝕設備。其中嘉芯閎揚公司中標1臺金屬等離子刻蝕機、4臺氮化硅等離子刻蝕機；嘉芯迦能公司中標2臺金屬等離子刻蝕機和3臺側墻等離子刻蝕機。
近期萬業企業旗下快速熱處理設備（RTP）、薄膜沉積設備、刻蝕設備已相繼成功躋身上海積塔特色工藝產線。
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