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高效可靠的“利刃” - 開拓半導體創新及良率提升的“芯”征途
隨著國內新能源汽車及顯示行業的自主研發不斷蓬勃發展，良率控制及新產品開發的需求日趨漸長。TEM可以在原子尺度對器件進行觀察和檢測，在過程控制和新品研發中起著至關重要的作用。
制造具有統一尺寸的納米結構和架構對于開發功能性半導體器件是非常理想的。隨著這些器件縮小，需要使用新型材料制造新設計和更復雜的結構，以應對相應的挑戰。為此，必須使用高靈敏度和先進的分析工具來檢測在這些更先進結構中可能影響良率或性能的極輕微電氣問題。
透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM)可以為器件關鍵尺寸管控及失效分析提供原子級別的微觀細節及高效數據采集。新型半導體器件制造需要高準確度成像和故障分析，以產生改進和優化的制造工作流程。這些復雜的分析流程通常要求所使用的TEM產品具備高效率的自動化功能，極易使用的用戶界面，極低的圖像失真率，以及其他快速的表征能力，例如高速EDS能譜采集。這些都推動TEM成為半導體器件研發，良率提升，以及失效分析階段必不可少的工具之一。
