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    該系列設備為我公司開發的專利產品，涵蓋了全部的RCA清洗技術，專業應用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗，通過自主開發的控制軟件，有效地將多ROBOT運動軌跡，與清洗工藝有機結合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實施。集成在線的甩干機或Marangoni dryer單元，保證了晶片干進干出，便于晶片進入下一工序。

    采用本設備清洗后的6英寸SiC晶片，表面顆粒達到<30顆/片@0.3微米，表面金屬雜質殘留<5E10（16種金屬離子），完全滿足SiC器件工藝對表面的技術要求。

     該系列設備涵蓋Si/SiC襯底片加工全過程的清洗工藝，包括晶棒滾圓后的清洗、切片的脫膠與清洗、研磨片的清洗、拋光片的預清洗等工藝過程，同時包括了石英管清洗機、外延爐鐘罩清洗機等，為客戶提供襯底片加工過程的全線清洗工藝解決方案。各設備針對相應的工藝特點，制定了適當的工藝處理槽和清洗工藝，同時針對不同客戶，接受客戶的定制需求。

     該設備為雙泵配置，自動切換，確保系統動力不斷，系統配置氣液分離裝置，有效去除桶空前后的氣泡，搭載與泵相匹配的阻尼器，有效抑制壓力波動，根據化學品介質的不同配備適應流量需求的過濾器，詳細參數可對應選擇。系統供應壓力數字化監視,PLC&HMI可編程控制與人機界面，高效直觀操控，控制模塊化，可修改、可擴展、可接上位機遠程監控，電氣材料均為國際知名品牌。