特點：
生產主線為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺，共4個清洗工位。右進右出設備。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的全自動控制系統，操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。
清洗能力：6 inch 8inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
圓片厚度范圍：6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米；
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