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特點：

生產主線為：石英加熱槽1、QDR槽2、PVDF槽3、QDR槽4、NPP槽5、NPP槽6，QDR槽7,IPA干燥槽8，共8個制程工位。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口件，性能可靠，使用壽命長；及背部設有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。