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製品詳細：

規格特徴：

01）プロセス説明:手動方式で製品搬送を実現；
02）全工程で自動化コントロールし、作業中は人の干渉がなく、製品性能の均一性を保証する；
03）回転スピンドル及びスキャン洗浄アーム回転補助シャフトの摺動は全て日本製サーボモータを採用、クローズループ制御、位置決め精度≤1mm，信頼性が高い；

04）システム急停止スイッチと回転スピンドルモータ自動過負荷保護等の多重保護があるため、作業者の安全を確保する；
05）回転スピンドル及びスキャン洗浄アーム回転補助シャフトの安定摺動で、過負荷保護を持っている；

06）配管設置を改善し、薬液消耗量を節約する；

07）柔軟な設計により、プロセスの変更は容易で、速い；

08）多數のプロセスデータベースはユーザーによって使用と保存される；

09）設備全體は使用運転中、安定、かつ安全で、異物を発生しない、油漏れもない。潤滑必要な部品は密封処理必要、グリスを定期的に交換必要；

10）設備全體は全密封設計を採用。設備運転ピークの騒音が小さく、且つ操作、メンテナンスし易い；

11）設備全體は酸溶液とアルカリ溶液及び揮発気體の腐食を抑えられるので、電気部品は正常に安全使用可能；

12）設備に緊急停止回路（EMO異常停止ボタンは設備の両側にそれぞれ1つずつ）を設置し、標準にてアース保護遮斷器を設置する；

13）設備全體は前後エリアを隔離し、底板は傾斜設計し、液排出し易い。一番低い所に液漏れアラームを設置する。前後エリアにそれぞれにウォーターガンを設置することで、液漏れ時に直ちに洗浄できる；

14）洗浄槽體及び配管に明確な標識或いはミス防止の表示があることで、溶剤誤混入防止ができる；

15）合理的に排気パイプを設計することで、酸溶液とアルカリ溶液の揮発気體の汚染が最小化にできる；

16）各プロセスパラメータの限界オーバー、非正常加工処理條件、非正常操作、薬液不足、液溢れ等の異常検知アラームシステムと安全保護裝置がある；

17）生産履歴、故障履歴等の記録は保存時間を設定できる。長期的に調べることも可能；操作簡単；プロセスパラメータのデジタル表示検査、アラームレベルを分け、緊急狀況、限界オーバーなど；故障を事前に予知、故障原因を調べやすい；

18）ソフトはマルチスレッド、ユニットモジュール化の設計を採用し、1つユニットモジュールが故障しても他のユニットモジュールのプロセス加工に影響しない；

19）DIWガン及びN2ガンは1セットずつを設置；

20）設備の総給水口に水抵抗器検査裝置（信號アラーム裝置付き）を取付け、且つ0.2usフィルターを追加；

21）設備の総給水口に（N2或いはCDA）圧力検査裝置（信號アラーム裝置付き）を取付け；

22）設備の頂部に10級FFUを設置；

23）設備頂部に靜電除去裝置を設置；